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行业数据|半导体制造工艺电子气体用途(三):CVD/ALD(2)

关牮 JamesG 半导体综研 2022-11-02

接着之前我发布的半导体制造工艺电子气体用途列表:

行业数据|半导体制造工艺电子气体用途(一)

行业数据|半导体制造工艺电子气体用途(二):CVD/ALD(1)


今天我继续发布第三部分:半导体制造CVD/ALD工艺用的气体列表(2)

主要包含:Low-K、High-K、阻挡层和CVD工艺相关的Chamber Clean用气体

还是老样子,麻烦行业内的专家帮忙把关,帮我看看有哪些地方有缺漏和错误,欢迎在公众号留言,或者和我微信交流(我的微信:jamesg003)

谢谢了



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